世界速读：半导体设备国产化率发展调研 电子芯片行业未来发展前景

半导体设备和材料是中国半导体行业国产化的关键一环,美国、日本进一步收紧出口限制,中国半导体当前面临国内需求远大于国内供应链产能的供需错配现象。2022年中国计算、手机、汽车、通信等系统厂商半导体消费额超过1068亿美元，约占全球半导体消费额的25%，而中国代工收入仅为全球10%

半导体设备国产化率发展调研

【资料图】

6月30日，工信部等五部门印发《制造业可靠性提升实施意见》。聚焦机械、电子、汽车等行业，实施基础产品可靠性“筑基”工程，筑牢核心基础零部件、核心基础元器件、关键基础软件、关键基础材料及先进基础工艺的可靠性水平。实施整机装备与系统可靠性“倍增”工程，促进可靠性增长。

其中电子行业重点提升电子整机装备用SoC/MCU/GPU等高端通用芯片、氮化镓/碳化硅等宽禁带半导体功率器件、精密光学元器件、光通信器件等电子元器件的可靠性水平。

五部门联合发布《制造业可靠性提升实施意见》，将对中国当前电子芯片行业未来发展产生重要影响。该《意见》中明确了半导体电子芯片领域的重点提升方向，包括高端通用芯片、宽禁带半导体功率器件、精密光学元器件、光通信器件、新型敏感元件及传感器、高适应性传感器模组、北斗芯片与器件、片式阻容感元件、高速连接器、高端射频器件、高端机电元器件和LED芯片等电子元器件的可靠性水平。这将促使中国半导体企业在这些领域加大研发投入，提升自主创新能力。

半导体相关产品纳入出口管制

6月30日，荷兰宣布将部分光刻机等半导体相关产品纳入出口管制。商务部回应：中方注意到相关报道。近几个月以来，中荷双方就半导体出口管制问题开展了多层级、多频次的沟通磋商。但荷方最终仍将相关半导体设备列管，中方对此表示不满。

近年来，美国为维护自身全球霸权，不断泛化国家安全概念，滥用出口管制措施，甚至不惜牺牲盟友利益，胁迫拉拢其他国家对中国实施半导体打压围堵，人为推动产业脱钩断链，严重损害全球半导体产业发展，中方对此坚决反对。荷方应从维护国际经贸规则及中荷经贸合作大局出发，尊重市场原则和契约精神，避免有关措施阻碍两国半导体行业正常合作和发展，不滥用出口管制措施，切实维护中荷企业和双方共同利益，维护全球半导体产业链供应链稳定。

同期，美国也在酝酿对向中国出口人工智能(AI)芯片实施新的限制，预计最快将会在7月要求停止向中国客户运送英伟达(NVIDIA)和其他美国芯片公司生产的AI芯片，其中将包括限制NVIDIA H800的对华出口。

去年以来，美日荷先后对半导体出口进行管制。在此背景下，国内厂商也在加快推进芯片产业链国产化进程，芯片设备及零部件国产替代方兴未艾。即便在全球半导体产业下行周期中，中国半导体产业投资仍然保持了正增长。

目前，以国内头部企业为代表的半导体行业，正持续加大投入力度，国产化进展加速，未来三年国产化仍然是行业最强主线之一。而在国产替代大潮加速推动下，资本市场芯片领域也获得了资金净流入。当前国内规模最大的芯片类指数基金——芯片ETF(159995)在今年上半年，累计获得资金净申购近34亿份，目前份额总数达到238亿份，资金规模达到247.57亿元。

根据中研普华研究院《2023-2028年国内半导体行业发展趋势及发展策略研究报告》显示：

尽管半导体景气度从2022年下半年显著回落，半导体设备是少数逆势高速增长的细分行业。作为A股半导体设备龙头，北方华创(002371)高管在5月31日举办的2022年度业绩说明会上表示公司目前在手订单充足，并预测受国产替代需求拉动，今年国内半导体设备行业仍有望持续增长。

2022年，北方华创实现营业收入147亿元，同比增长约五成，净利润约24亿元，同比增长1.18倍;今年一季度公司实现净利润近6亿元，同比增长1.86倍。

“目前公司在手订单充足，2023年1-5月新增订单相较去年同期增长超过30%，其中以集成电路设备订单为主。”北方华创高管表示。

北方华创在半导体设备领域业务覆盖刻蚀装备、薄膜装备、立式炉装备、外延装备、清洗装备、卧式炉管设备等，去年电子工艺装备部分业务实现营业收入同比增长约五成。

在刻蚀设备领域，北方华创高管介绍，面向12吋逻辑、存储、功率、先进封装等客户，已完成数百道工艺的量产验证，其中，ICP刻蚀产品出货累计超过2000腔，8英寸CCP刻蚀设备已批量供应市场，12英寸CCP刻蚀设备已进入客户端验证。另外，公司用于存储器件的高深宽比刻蚀机已完成研发，进入工艺测试阶段，各项技术指标已基本满足客户要求。

对于刻蚀设备优势，北方华创介绍，公司自2001年开始研发ICP刻蚀设备，2005年第一台设备进入大生产线量产，目前已有超过2000腔产品在数十家客户端实现量产应用，在数百道制程上成为客户的基线设备。

在碳化硅设备领域，北方华创可为6/8英寸碳化硅产线提供晶体生长炉、外延炉、刻蚀机、 PECVD、 PVD、高温氧化炉、高温退火炉、清洗机等设备，目前公司碳化硅设备在手订单充足，多种设备国内市场占有率处于领先位置

5月23日，日本宣布把尖端半导体制造设备等23个品类列入出口管理限制对象名单，半导体设备以及零部件领域国产化进展备受关注。

北方华创高管介绍，公司与国内外主流零部件供应商有着长期友好的合作关系，随着近年来国内零部件供应商能力的快速提升，国内采购比例也逐年提升。

目前北方华创可为28nm制程产线提供刻蚀、薄膜、清洗、炉管、外延等多种成熟设备，其刻蚀、薄膜沉积、炉管及清洗设备均批量供应市场，工艺覆盖度和市占率持续提升;未来公司将围绕半导体基础产品领域持续加大研发投入，不断提升以客户需求为导向的创新能力。

根据SEMI(国际半导体产业协会)数据，2022年中国晶圆厂商半导体设备国产化率较2021年明显提升，从21%提升至35%;国内半导体设备公在去胶、清洗、热处理、刻蚀及CMP领域内国产替代率较高，均高于30%，但在光刻机、离子注入机等领域国产化率合计不足5%。

对于是否涉及半导体光刻机研发，北方华创高管表示公司没有研发光刻机设备的计划。

半导体行业自2022年下半年进入下行周期，半导体制造商纷纷宣布削减2023年资本开支;对于国产半导体设备增长趋势，北方华创高管表示看好，预计受国产替代需求拉动，今年国内半导体设备行业仍有望持续增长。

《2023-2028年国内半导体行业发展趋势及发展策略研究报告》由中研普华研究院撰写，本报告对该行业的供需状况、发展现状、行业发展变化等进行了分析，重点分析了行业的发展现状、如何面对行业的发展挑战、行业的发展建议、行业竞争力，以及行业的投资分析和趋势预测等等。报告还综合了行业的整体发展动态，对行业在产品方面提供了参考建议和具体解决办法。

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